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小角衍射附件配置相應(yīng)附件可以進(jìn)行小角衍射，角度范圍從0°-5°可對(duì)納米多層薄膜的厚度測(cè)試。

多功能集成測(cè)量附件用于板材、塊材及基板上的膜的分析，并可對(duì)其進(jìn)行晶相檢出、取向、織構(gòu)、應(yīng)力、薄膜面內(nèi)結(jié)構(gòu)等測(cè)試。

石墨彎晶單色器是安裝在X射線探測(cè)器前，將通過(guò)接收狹縫后的X射線單色化，只檢測(cè)X光譜的Kα特征X射線的部件。使用該裝置，可以全部消除連續(xù)X射線、Kβ特征X射線和熒光X射線，可以進(jìn)行高信噪比的X射線衍射分析。當(dāng)銅靶X射線管和對(duì)應(yīng)的單色器配合使用時(shí)，可以消除從Mn、Fe、Co、Ni系樣品中產(chǎn)生的熒光X射線，可適用與多種樣品的分析。

旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái) 樣品可以在自身平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)，有利于晶粒粗大引起的誤差，對(duì)有織構(gòu)和晶癖的試樣測(cè)量，保證衍射強(qiáng)度有很好的再現(xiàn)性，消除擇優(yōu)取向。

多功能樣品臺(tái)可以對(duì)微量的粉末樣品進(jìn)行測(cè)試，也可對(duì)片狀、大尺寸或不規(guī)則、不能裁剪、無(wú)法研磨成粉末的樣品進(jìn)行測(cè)試。

6位（12位）自動(dòng)換樣器采用進(jìn)口步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，由進(jìn)口西門子可編程序控制器（PLC）控制，無(wú)需人工換樣，系統(tǒng)自動(dòng)連續(xù)測(cè)樣，自動(dòng)保存數(shù)據(jù)。一次可以裝載6個(gè)樣品進(jìn)行連續(xù)測(cè)量。